16 Depuneri de filme subțiri prin ablație laser pulsată
Filmele subțiri sunt structuri care au una dintre dimensiuni mult mai mică decât celelalte două (10 nm ÷100 nm). Ele sunt intens folosite datorită proprietăților pe care le conferă nanostructurarea: transport de sarcină îmbunătățit, duritate crescută și, în cazul filmelor subțiri semiconductoare, amplificarea mișcării purtătorilor…
Detalii